与传统的无机分析技术相比，ICP-MS 技术提供了低的检出限、宽的动态线性范围、干扰少、分析精密度高、分析速度快、可进行多元素同时测定以及可提供准确的同位素信息等优点。已经被广泛应用于环境样品( 土壤、水质检测) 、固体废物( 痕量金属污染) 、环境应急分析( 同位素分析、放射性核素) 等各个方面。