电感耦合等离子体质谱ICP-MS，是20世纪80年代发展起来的新的分析测试技术。它以接口技术将ICP-MS的高温（7000K）电离特性与四极杆质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种新型的元素和同位素分析技术。